氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。氦質譜檢漏儀適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。杭州小型氦質譜檢漏儀技術指導

氦質譜檢漏儀的保養注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質譜檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質譜檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦質譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。紹興移動式氦質譜檢漏儀價錢氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴的情況，某些不重要的設備中輕微的泄露沒有太大關系，但是汽車管路作為汽車轉配中的重要零部件，關系著車輛和乘員的**。良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要!傳統的檢漏方法：如加壓水檢法、壓差法、鹵素檢漏法，在檢漏速度、精度及環保性能上都有一定程度的缺陷，而氦檢漏技術，是集真空技術、計算機技術及質譜技術為一體的應用技術，為汽車空調兩器及管路提供專業的檢漏方案。氦檢儀可靠的品質保證普遍的市場應用，氦檢儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進入氦檢儀的質譜室中，使氦檢儀的測量儀表立即靈敏地反應出來，達到了檢漏的目的。此款氦檢儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證的檢漏漏率。氦檢儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員**和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。由于氦質譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。

氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質譜檢漏儀主要技術指標：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動時間：≤5min；4.響應時間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環境：5-35℃；8.相對濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環境：環境溫度：5～35℃；相對濕度：