光學微電子凈化工程一般包括：1、潔凈生產區2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)3、管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)4、設備區(包括無塵凈化工程空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)光學微電子凈化工程凈化原流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效凈化重復以上過程，即可達到凈化目的。優點：A.處理空氣的效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。能比較精確控制送風的溫度、濕度;B.空調冷熱源可與廠房普通空調系統合用或冷熱源;C.比較適用于較大的廠房有集中冷源的的廠房;D.較低的維修頻率;E.車間里的噪音小。分別為：地面系統、風管系統、自控系統、電氣系統、給排水系統、空氣過濾系統六大部分。安徽無塵室凈化車間

凈化車間工程的施工、安裝、調試、驗收注意事項有哪些一、基本要求：1.承擔無錫凈化車間工程的施工企業應具有相應的工程施工資質和等級，并應具有完善的質量管理體系。2.凈化車間的施工應按設計文件和合同的內容進行。修改設計時，應經原設計單位確認簽證，并經施工單位同意。3.凈化車間施工前，應根據具體工程的特點制定施工方案和程序，協調各工種的施工。階段明確，交接明確，確保整體施工質量和**運行。4.施工企業承擔凈化車間工程專業設計圖紙深化施工詳圖設計，應執行現行**相關無錫凈化車間設計規范，加強設計質量管理，有質量管理體系，施工詳圖應書面同意或確認，經施工單位同意后方可施工。5.凈化車間工程中各專業的隱蔽工程，隱蔽前必須經建設單位或監理人員驗收認可。6.凈化車間工程竣工驗收系統調試應在施工單位和監理單位的共同參與下進行，施工企業負責進行系統調試和檢測。承擔調試的單位應當有專職技術人員和符合本規范規定的測試儀器。浙江十萬級凈化車間動力及照明系統；工作環境參數的監測報警消防和通訊系統；

潔凈實驗室空間標準實驗室建筑面積分配實驗建筑工程建設用地必須堅持科學合理和節約用地的原則。在總體布局上，建筑物應盡量相對集中，形成建筑群，實驗建筑的層數應以建多層為主，實驗建筑工程的規劃建設用地指標包括建筑物、構筑物、露天堆料場、道路和綠化等用地。1、實驗建筑組合類型(1)類以低層為主，建筑覆蓋率控制在25%~27%;(2)第二類以高層為主，建筑覆蓋率控制在23%~25%;(3)第三類為低層和高層結合，建筑覆蓋率控制在21%~23%。

凈化工程中空氣凈化處理方案確定集中或分散式凈化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。凈化空氣調節系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火**措施。送風機可按凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。凈化工程中凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。凈化空氣調節系統設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。大或等于0.5微米的粒子數不得超過3500000個，大或等于5微米的粒子數不得超過20000個。

潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。（風淋室廠家）隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。凈化工程用于實驗室，空氣中的灰塵和離子干擾了實驗過程，影響了實驗的準確性。浙江十萬級凈化車間

沉隆菌數不得超過10個每培養皿。安徽無塵室凈化車間

凈化工作臺的細節構造與保養凈化工作臺進風口在背面或正面的下方，金屬網罩內有一普通泡沫塑料片或無紡布，用以阻攔大顆粒塵埃，應常檢查、拆洗，如發現泡沫塑料老化，要及時更換。除進風口以外，如有漏氣孔隙，應當堵嚴，如貼膠布，塞棉花，貼膠水紙等。工作臺正面的金屬網罩內是超級濾清器，超級濾清器也可更換，如因使用年久，塵粒堵塞，風速減小，不能保證無菌操作時，則可換上新的。凈化工作臺使用壽命的長短與空氣的潔凈程度有關。在溫帶地區凈化工作臺可在一般實驗室使用，然而在熱帶或亞熱帶地區，由于大氣中含有高量的花粉，或多粉塵的地區，凈化工作臺則宜放在較好的有雙道門的室內使用。任何情況下都不應將凈化工作臺的進風罩對著開敞的門或窗，以免影響濾清器的使用壽命。安徽無塵室凈化車間